ana

Suzhou Sanayi Parkı Huiguang Teknoloji Co., Ltd.
Başlık- Evet.Yapılar- Evet.AWL Serisi Wafer Kontrol Sistemi
AWL Serisi Wafer Kontrol Sistemi
AWL serisi wafer inceleme sistemleri hem istikrarlı hem de güvenli bir şekilde wafer taşıyabilir ve ön taraftan arka taraftan wafer incelemelerine uyg
Ürüntü detayları

AWL 系列晶圆检查系统

AWL 系列晶圆检查系统的显微镜


Şu anda, AWL serisi wafer taşıyıcı AWL046, AWL068 iki modeline sahiptir, 4/6 inç wafer tespiti, 6/8 inç wafer tespiti için uygulanabilir, geniş bir adaptasyon aralığı ve esnek, serbestçe ayarlanabilir denetim modu ile birlikte, tam olarak ergonomik tasarıma uygun, rahat ve kolay kullanım.

AWL SerisiWafer Kontrol Sistemi Avantajları

360° Makro Kontrol

360°宏观检查

AWL serisi wafer muayene sistemi, makro muayene koluna sahiptir ve kristal makro muayene, kristal arka makro muayene 1'in 360 ° dönmesini sağlar ve yaralar ve tozları daha kolay tespit eder. İşlev çubuğu ile wafer eğimi istediğiniz şekilde gözlemlenebilir. Kristal eğim açısı ≤ 70 °, kristal arka 1 eğim açısı ≤ 90 °, kristal arka 2 eğim açısı ≤ 160 °, dönme fonksiyonu, eğim açısı kullanarak, tüm tavla olumlu ve kenarlarını görsel olarak kontrol edebilirsiniz.

• İnsan-makine mühendisliği tasarımı

晶圆检查系统的LCD显示屏

Wafer kontrol sisteminin LCD ekranı, operatörlere daha sezgisel bir görsel deneyim sağlayabilir, mevcut kontrol öğelerini ve sırasını net bir şekilde gösterebilir ve hata açma parametreleri bir bakışta açıktır.

Wafer kontrol sisteminin el ile hızlı serbest bırakma vakum taşıyıcı masası, operatörün konforu ve verimliliğini artırır.

Wafer Hataları Kontrol Uygulama Vakaları

晶圆缺陷检查

晶圆缺陷检查

AWL SerisiWafer Kontrol Sistemi Teknik Özellikleri

Model numarası

AWL046

AWL068

Wafer Boyutu (SEMI Özellikleri)

150mm/125mm/100mm

200mm/150mm

Minimum Wafer Kalınlığı

150μm

180μm

Tip

Açık Kutu (SEMI Stad.25(26)-slot)

Kutu sayısı

1 Port

Mod ayarlarını kontrol et

Tam muayene / Çift sayı muayenesi / Çift sayı muayenesi / Manuel seçim

Kutu İçindeki Wafer Tarama

Wafer Ön Yerlendirme

Wafer konumlandırma

0°, 90°, 180°, 270° yönlü ayarları destekleyen temas olmayan düz taraflı / V yuvası

Özellikleri kontrol et

Mikro Kontrol

Kristal Makro Kontrolü

Arka Makro Kontrol 1

Arka Makro Kontrol 2

Mikroskop Uygulaması

SOPTOPAltın MikroskopMX68R

Taşıma İstasyonu

6 inç dört katmanlı mekanik hareket platformu, düşük el X, Y yönü koaksen ayarlanması; Wafer tabanı, 360 ° dönebilir; Hareket yolculuğu 228mm (X yönü) × 170mm (Y yönü) Gözlem aralığı:
170mmX170mm ; Bütün yolculuk aralığında hızlı hareket etmek için kullanılabilir debriyaj kolu;

8 inç dört katmanlı mekanik hareket platformu, düşük el X, Y yönü koaksen ayarlanması; 360 ° dönebilir, hareket yolculuğu 280mm (X yönü) × 210mm (Y yönü) gözlem aralığı:
210mm×210mm ; Debriş kolu ile, tüm yolculuk aralığında hızlı hareket için kullanılabilir;

Güç kaynağı

1P/220V/16A

Vakum Kaynağı

—70KPA

Çevrimiçi soruşturma
  • Kontaktlar
  • Şirketi
  • Telefon
  • E-posta
  • WeChat
  • Kontrol Kodu
  • Mesaj İçindeki

Başarılı operasyon!

Başarılı operasyon!

Başarılı operasyon!