Düşük sıcaklık plazma yüzey işleme ekipmanları, vakum boşlukları ve yüksek frekans plazma güç kaynakları, pompalama vakum sistemleri, şişme sistemleri, otomatik kontrol sistemleri ve diğer bölümlerden oluşur. Oldu. Çalışmanın temel prensipi vakum durumunda, plazma etkisi kontrol ve kaliteli yöntemler altında gazı iyonize edebilir.Vakum pompası ile stüdyoyu pompalamak Vakum 30-40pa vakum derecesine ulaşır, daha sonra yüksek frekans jeneratörü etkisi altında, gazı iyonize eder ve plazma (maddenin dördüncü durumu) oluşturur, önemli bir özelliği yüksek eşitlik parlaklık boşaltımıdır, farklı gazlara göre maviden koyu mor renkli görünür ışık yayılır, malzeme işleme sıcaklığı oda sıcaklığına yakındır. Bu yüksek derecede aktif parçacıklar ve işlenmiş yüzeyler, yüzey hidrofili, su direnci, düşük sürtünme, yüksek derecede temizlik, aktivasyon, etç ve diğer çeşitli yüzey modifikasyonları elde etmek için etkilendi.

Teknik parametreler

1.Cihaz boyutu: 450mm*400mm*240mm

İki,Vakum depo boyutu: Φ151×300(L)mm （5L）

Üç,Depo Yapısı: Paslanmaz çelik boşluk, yerleşik kapasiteli bağlantı elektrotları, kirliliksiz, yerleşik kuvars palet.

4.Plazma JeneratörüRadyo frekansı, güç 0-300W ayarlanabilir, tam devre koruması, sürekli uzun çalışma (hava soğutması).

5.Kontrol Sistemleri: PLC dokunmatik ekran tamamen otomatik kontrol, Omron, Schneider ve diğer ithal marka elektrik bileşenleri, el ile, otomatik iki kontrol modu var, gerçek renkli ekran dokunmatik ekran, Siemens programlanabilir denetleyici (PLC), ABD vakum basıncı algılama sistemi, çevrimiçi olarak ayarlanabilir, değiştirilebilir, vakum basıncı, işlem süresi, plazma gücü ve diğer süreç parametrelerini izleyebilir ve arıza alarmı, süreç depolama ve diğer çeşitli işlevlere sahiptir. Otomatik modunda çeşitli işlem parametrelerini ayarlayın, tek tıklama ile başlatın ve sürekli tekrarlayın. El modu deneysel süreçlerde ve ekipman bakımında kullanılır.

Süreç:

1.İşlem Süreci Parçayı yükle→ Vakum pompalama → reaksiyon gazına basma → plazma boşaltma işlemi → gaz geri basma → iş parçasını çıkarma

İki,Süreç Kontrolü:

2.1 İşlem süresi kontrolü: 1 saniye ila 120 dakika sürekli ayarlanabilir.

2.2 Plazma boşaltma basıncı: 30-50Pa.

2.3 Güç ayarı aralığı: 0 ~ 300W sürekli ayarlanabilir.

2.4 Akış ayarı aralığı: Gaz 1 (0 ~ 300ml / dakika) Gaz 2 (0 ~ 500ml / dakika).

PLC yazılım fonksiyonu (yönetim arayüzü)

Ana ekran: gerçek zamanlı izleme ve çalışma durumu ve verileri, plazma gücü, gaz akışı, valf anahtarı, vakum basıncı, Çalışma Zamanı vb.

Parametre ayarları: Süreç parametreleri ve adımları ayarlayabilir ve değiştirebilirsiniz.

Çalışma durumu: Vakum basıncı, plazma gücü ve diğer verileri ve durumu çevrimiçi olarak görüntüleyebilirsiniz.

Hata alarmı: Çeşitli hata tespit, alarm ve kilitli koruma - Hayır.

PDMS Çip Bağlama Uygulaması

PDMS ve Slayt Bağlama Etkisi

Bağlanmadan sonra soyma deneyi,PDMS yırtıldıktan sonra ayrılamaz ve görünür bağlama katmanının gücü PDMS'in kendisinden çok daha yüksektir. Bu sistem işlemi basit, yüksek bitiş oranı, hızlı bağlama hızı, yüksek güç ve sızıntı olmaz.